光伏

闭式循环水冷却系统用于冷却单晶炉和多晶炉，分别用于冷却上下腔体、水冷电缆、电极、隔热罩安装法兰、上炉盖、温度计水冷支架、下水冷法兰，交流电源和真空装置。作为生长单晶硅更重要的单晶炉，炉内长期处于1400℃的高温下，炉体一般采用不锈钢材料，其耐温在300℃以下；如果炉体长期在300℃以上的高温条件下工作，由于不锈钢材料的氧化，会使炉体表面产生锈蚀，大大缩短炉体的使用寿命。多晶硅生产过程中，主装置还原炉的反应温度也高于1000℃，这些热量必须通过循环水系统冷却，以保证炉体的安全运行。采用闭式循环水冷却系统，避免了循环水系统因结垢而散热性能降低，有效地延长了炉体的使用寿命。